半导体检测电路和方法、半导体检测设备和存储介质

专利主权项内容

1.一种半导体检测电路，其特征在于，包括：多个电压输出电路，所述多个电压输出电路一一对应地连接到待检测的多个半导体器件，以分别为所述多个半导体器件提供工作电压，其中，每个所述半导体器件引出有电压侦测端；多个基准电压源，所述多个基准电压具有互不重叠的电压输出范围和互不相同的电压输出精度；基准电压切换模块，所述基准电压切换模块包括与所述多个基准电压源一一对应地连接的多个第一输入端、彼此并联的多个第一输出端、和切换开关，其中，所述切换开关用于将所述多个第一输出端择一地连接到所述多个第一输入端中的每一个；多个切换选择模块，每个所述切换选择模块包括具有第二输入端和第二输出端的放大电路、及选择开关，其中，所述选择开关用于将所述第一输出端连接到所述第二输入端或者将所述电压侦测端连接到所述第二输入端；多个模数转换器，所述多个模数转换器与所述多个切换选择模块一一对应地设置，并分别包括第三输入端和第三输出端，其中，所述第三输入端与所述第二输出端相连；控制模块，所述控制模块分别连接所述基准电压源、所述基准电压切换模块、所述电压输出电路、所述切换选择模块和所述模数转换器。