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一种基于运动时间关联控制的芯片外观检测装置及方法
摘要文本
本发明公开了一种基于运动时间关联控制的芯片外观检测装置及方法，涉及芯片外观光学检测中的缺陷检测技术领域，包括精密调整台、显微成像系统、微运动模块、成像及图像采集模块、运动控制模块、同步时序触发生成模块和信息处理分析模块，所述成像及图像采集模块集成在微运动模块中，微运动模块安装在显微成像系统上；本发明装置结构通过较低放大倍率和较低配置的显微成像系统对芯片样品进行光学显微放大，配合图像采集模块的精确编码运动，对经过显微成像系统放大后的样品图像进行数据采集，并将采集到的图像结合编码信息进行关联计算，对图像进行插值和像素值重分配，通过计算成像的方式实现了高分辨的成像效果。
申请人信息
- 申请人:奈米科学仪器设备(上海)有限公司
- 申请人地址:201206 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路1000号48幢1-2层
- 发明人: 奈米科学仪器设备(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于运动时间关联控制的芯片外观检测装置及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410021268.7 |
| 申请日 | 2024/1/5 |
| 公告号 | CN117805118A |
| 公开日 | 2024/4/2 |
| IPC主分类号 | G01N21/88 |
| 权利人 | 奈米科学仪器设备(上海)有限公司 |
| 发明人 | 刘志平; 卢思迪; 洪建立 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路1000号48幢1-2层 |
专利主权项内容
1.一种基于运动时间关联控制的芯片外观检测装置，包括精密调整台(1)、显微成像系统(2)、微运动模块(3)、成像及图像采集模块(4)、运动控制模块(5)、同步时序触发生成模块(6)和信息处理分析模块(7)，其特征在于：所述成像及图像采集模块(4)集成在微运动模块(3)中，所述微运动模块(3)安装在显微成像系统(2)上，所述微运动模块(3)、成像及图像采集模块(4)和显微成像系统(2)同轴放置，所述运动控制模块(5)分别与同步时序触发生成模块(6)和信息处理分析模块(7)电连接，所述成像及图像采集模块(4)分别与同步时序触发生成模块(6)和信息处理分析模块(7)电连接，所述同步时序触发生成模块(6)与信息处理分析模块(7)电连接；所述微运动模块(3)用于提供高精度位移；所述成像及图像采集模块(4)用于单次图像的采集；所述运动控制模块(5)用于在指定周期内完成编码后的位移；所述同步时序触发生成模块(6)用于生成同步触发信号；所述信息处理分析模块(7)用于对数据的提取与分析。