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用于模型校准的方法、电子设备及存储介质

申请号: CN202410118929.8
申请人: 全智芯(上海)技术有限公司
申请日期: 2024/1/29

摘要文本

本公开的示例实施例涉及用于模型校准的方法、电子设备及存储介质。该方法包括:对输入到模型中的第一精度格式的掩模版图进行归一化处理,以获得归一化版图图像,其中模型具有初始化的模型参数;对归一化版图图像应用第二精度格式的仿真处理,以获得仿真晶圆图像,其中第二精度格式的精度低于第一精度格式的精度;使用第一精度格式确定指示仿真晶圆图像与目标图像之间的差异的度量指标;对模型参数进行迭代更新;以及响应于度量指标满足预定标准,将对应于满足预定标准的度量指标的模型确定为最优模型。本公开的实施例能够提高模型校准过程中的计算速度并且能够减少或者防止数据溢出,从而满足精度要求。。马 克 数 据 网

专利详细信息

项目 内容
专利名称 用于模型校准的方法、电子设备及存储介质
专利类型 发明申请
申请号 CN202410118929.8
申请日 2024/1/29
公告号 CN117669473A
公开日 2024/3/8
IPC主分类号 G06F30/392
权利人 全智芯(上海)技术有限公司
发明人 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名
地址 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼

专利主权项内容

1.一种用于模型校准的方法,包括:对输入到模型中的第一精度格式的掩模版图进行归一化处理,以获得归一化版图图像,其中所述模型具有初始化的模型参数;对所述归一化版图图像应用第二精度格式的仿真处理,以获得仿真晶圆图像,其中所述第二精度格式的精度低于所述第一精度格式的精度;使用所述第一精度格式确定指示所述仿真晶圆图像与目标图像之间的差异的度量指标;对所述模型参数进行迭代更新;以及响应于所述度量指标满足预定标准,将对应于所述满足预定标准的所述度量指标的所述模型确定为最优模型。