晶圆派工策略动态可视化展示和评估方法，系统和介质

专利主权项内容

1.一种晶圆派工策略动态可视化展示和评估方法，其特征在于，包括：获取晶圆派工策略执行所需的参数集合，所述参数集合包括自定义输入参数集合或者来源于历史策略执行产生的历史切片数据快照；将所述参数集合输入至派工策略，以调试所述派工策略；基于所述参数集合在派工策略中的调试过程进行动态可视化展示和效果评估，展示内容包括派工策略的执行路线、流程节点以及对应的参数；当所述派工策略存在至少两个流程节点时，基于所述历史切片数据确定所述派工策略在不同流程节点的所需参数和运行结果，以及基于所述历史切片数据快照确定所述派工策略在不同流程节点间的变化，并突出显示变化的参数。