气体注入装置和气相反应设备

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本发明提供一种气体注入装置和气相反应设备，气体注入装置凸出部自所述盖体顶面一侧起贯穿所述盖体并远离所述盖体延伸，辅助气体输送通道自所述凸出部顶面起在所述凸出部内延伸并贯穿所述凸出部底面，辅助加热装置围设于所述凸出部的外侧壁并位于所述盖体底面所在的一侧；若干工艺气体输送通道，围绕所述凸出部顶部设于所述盖体，并贯穿所述盖体，使得辅助加热装置能够在反应腔体内由所述盖体、所述凸出部、所述承载装置和所述反应腔体侧壁围成的反应空间起到辅助加热作用，有利于大尺寸反应腔体内反应空间的温场均匀性。