半导体量测系统、量测方法及存储介质

专利主权项内容

1.一种半导体量测系统，其特征在于，包括：柯勒照明模块，依次包括宽光谱光源、波长选择单元、第一透镜、视场光阑、第二透镜、孔径光阑及物镜，其中，所述物镜包括高倍率的第一物镜及低倍率的第二物镜，所述波长选择单元至少用于分时地从所述宽光谱光源提供的原始光线中滤出多种不同中心波长的窄波段照明光线，所述孔径光阑与宽光谱光源平面共轭，而所述视场光阑与后端的待测样品所在的样品平面共轭，用于将多个不同视场下的窄波段照明光线均平行地输出到所述第一物镜及所述第二物镜；光学模块，包括第一分光单元及第二分光单元，其中，所述第一分光单元用于先将所述柯勒照明模块提供的窄波段照明光线传输到所述第一物镜及所述第二物镜，以经由所述第一物镜或所述第二物镜均匀照射其物方的所述待测样品，再将所述待测样品产生的反射光线传输到像方的第二分光单元，以经由所述第二分光单元将所述反射光线分别传输到后端的光谱仪和相机；以及探测模块，包括所述光谱仪及所述相机，其中，所述光谱仪用于采集所述第二分光单元提供的反射光线的光谱信息，以指示所述待测样品表面大于预设尺寸的第一区域内的平均薄膜厚度，所述相机用于根据传输到其探测表面的反射光线，生成对应的样品图像，以指示所述待测样品表面小于或等于所述预设尺寸的第二区域内的薄膜厚度和/或微观结构。