一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉自聚焦光路
摘要文本
本申请提供一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉自聚焦光路，应用于晶圆检测技术领域，采用宽谱相干光的干涉信号的强度作为自聚焦信号，检测光源根据实际需求灵活选取，自聚焦光与检测光通过二向色镜组合或者分束，具有光机结构简单、调试简单、聚焦速度快、普适性好等优点，解决了基于白光干涉自聚焦晶圆检测系统光机结构复杂、调试复杂、检测光源受限等缺点，能广泛应用于晶圆自动化检测中。 来自
申请人信息
- 申请人:魅杰光电科技(上海)有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
- 发明人: 魅杰光电科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉自聚焦光路 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410162686.8 |
| 申请日 | 2024/2/5 |
| 公告号 | CN117723490A |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | G01N21/01 |
| 权利人 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 任晓静; 梁安生; 王婷婷; 秦雪飞; 刘再庆; 温任华 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼 |
专利主权项内容
1.一种宽谱相干光干涉自聚焦光路，其特征在于，应用于晶圆检测，所述宽谱相干光干涉自聚焦光路包括：自聚焦光源(1)、第一二向色镜(3)、分束合束器(4)、检测物镜(8)、晶圆检测光源(10)、检测相机(14)、快门(5)、参考物镜(6)、全反镜(7)、第二二向色镜(12)和探测器(16)，其中，全反镜(7)位于参考物镜(6)的焦平面上；所述自聚焦光源(1)为宽谱相干光源，用于发出宽谱相干光；所述晶圆检测光源(10)为晶圆检测光源，用于提供检测光；第一二向色镜(3)用于向所述分束合束器(4)透射所述宽谱相干光，以及向所述分束合束器(4)反射所述检测光；所述分束合束器(4)用于将所述宽谱相干光分束得到第一透射光束和第一反射光束，其中第一透射光束经快门(5)、参考物镜(6)、全反镜(7)后重新入射到所述分束合束器(4)，以及第一反射光束经检测物镜(8)和待测晶圆反射后重新入射到所述分束合束器(4)，由所述分束合束器(4)输出第一合束光；所述分束合束器(4)还用于将所述检测光分束得到第二透射光束和第二反射光束，其中第二透射光束被快门(5)遮挡，以及第二反射光束经检测物镜(8)和待测晶圆反射后重新入射到所述分束合束器(4)，由所述分束合束器(4)输出第二合束光；第二二向色镜(12)用于将所述第一合束光向探测器(16)透射，以及将所述第二合束光向检测相机(14)反射；探测器(16)用于对第一合束光进行探测，以便于根据所述第一合束光的干涉强度确定待测晶圆是否位于检测物镜(8)的焦平面上；检测相机(14)用于对已位于检测物镜(8)的焦平面上的待测晶圆进行成像检测。。