石英中心托盘制作工艺的质量检测与控制方法

专利主权项内容

1.石英中心托盘制作工艺的质量检测与控制方法，其特征在于，所述方法包括：将被测托盘的测量尺寸和标准三维模型的设计尺寸进行比较，以获取所述被测托盘的第一质检结果；所述第一质检结果包括尺寸合格或尺寸不合格中的一种；包括：根据相同的规则将被测托盘和标准三维模型划分为N个细分部位，N为大于零的整数；测量被测托盘中每个细分部位的实际厚度和实际长度，以及获取标准三维模型中每个细分部位的设计厚度和设计长度；基于被测托盘和标准三维模型中相同细分部位进行厚度比对，计算厚度系数，其计算公式为：；其中，/>表示厚度系数，/>表示第i个细分部位的实际厚度，/>表示第i个细分部位的设计厚度；基于被测托盘和标准三维模型中相同细分部位进行长度比对，计算长度系数，其计算公式为：；其中，/>表示长度系数，/>表示第i个细分部位的实际长度，/>表示第i个细分部位的设计长度；依据厚度系数和长度系数计算尺寸系数，基于尺寸系数确定获取第一质检结果，其计算公式为：；其中，/>表示尺寸系数，/>和/>表示大于零的修正因子，/>＞/>；获取尺寸合格的被测托盘的M幅局部X射线图像，以及获取尺寸合格的被测托盘的M幅局部光学图像；分别对M幅局部X射线图像和M幅局部光学图像进行解析，以获取被测托盘的内部缺陷数据和外部缺陷数据，并依据所述内部缺陷数据和外部缺陷数据进行综合分析，以确定被测托盘的第二质检结果，所述第二质检结果为质量符合标准或质量不符合标准中的一种；根据第一质检结果或第二质检结果控制被测托盘进入下一加工环节，所述下一加工环节包括包装环节和返工环节。