一种晶圆生产过程中非产品片的自动化管理方法及装置

专利主权项内容

1.一种晶圆生产过程中非产品片的自动化管理方法，其特征在于，所述方法包括：创建晶圆生产过程中用于记录等待使用的非产品片的等待使用仓库、用于记录使用完毕后的非产品片的使用完毕仓库和用于记录循环再生后的非产品片的循环再生仓库；在晶圆生产过程中，针对所述使用完毕仓库中的每个非产品片，确定该非产品片的加工次数是否大于复用次数阈值；若大于，则对该非产品片执行循环再生工艺流程，并将经过所述循环再生工艺流程的该非产品片转入所述循环再生仓库；针对所述循环再生仓库中的每个非产品片，确定该非产品片的循环再生次数的加工次数是否大于循环再生次数阈值；若大于，则根据降级规则对该非产品片进行种类降级，并将种类降级后的该非产品片转入所述等待使用仓库或报废处理；其中，所述非产品片的种类包括控片、暖机片、和挡片；控片的等级高于暖机片，暖机片的等级高于挡片。