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一种晶圆片智能手臂抓取组件及其接料机构
摘要文本
本发明提供一种晶圆片智能手臂抓取组件及其接料机构，包括抓取结构和接料结构，抓取结构包括有旋转台本体，旋转台本体的上表面等分设置有若干固定外壳，固定外壳远离旋转台本体的一侧设置有X型支架，X型支架的下表面设置有吸盘本体，接料结构包括有设置在旋转台本体一侧的接料外壳；本发明能够实现自动对不同尺寸的晶圆片进行夹持，避免了工作人员手动调整吸盘本体的麻烦，加快了晶圆片取放的效率，有效的降低了工作人员的劳动强度。
申请人信息
- 申请人:芯钛科半导体设备(上海)有限公司
- 申请人地址:200072 上海市静安区共和新路912号1102-1室
- 发明人: 芯钛科半导体设备(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆片智能手臂抓取组件及其接料机构 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410108195.5 |
| 申请日 | 2024/1/25 |
| 公告号 | CN117817688A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | B25J11/00 |
| 权利人 | 芯钛科半导体设备(上海)有限公司 |
| 发明人 | 沈凯 |
| 地址 | 上海市静安区共和新路912号1102-1室 |
专利主权项内容
1.一种晶圆片智能手臂抓取组件，包括抓取结构(100)和接料结构(200)，其特征在于，所述抓取结构(100)包括有旋转台本体(111)，所述旋转台本体(111)的上表面等分设置有若干固定外壳(151)，所述固定外壳(151)远离旋转台本体(111)的一侧设置有X型支架(121)，所述X型支架(121)的下表面设置有吸盘本体(131)，所述接料结构(200)包括有设置在旋转台本体(111)一侧的接料外壳(211)。