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一种在硅基底上制备栅线的方法

申请号: CN202410043977.5
申请人: 云南师范大学
申请日期: 2024/1/11

摘要文本

本发明涉及太阳电池技术领域,具体涉及一种在硅基底上制备栅线的方法,包括步骤:确定区域、表面处理、光刻和显影、金属沉积、去除光刻胶等步骤。其中,在确定区域步骤中,确定核心区域和非核心区域;在表面处理步骤中,处理硅基底的表面,使得核心区域的润湿性低、非核心区域的润湿性高。在甩胶时,核心区域的胶厚,非核心区域的胶薄。光刻等一些列操作后,在核心区域形成高分辨率的栅线,在非核心区域形成较低分辨率的栅线,满足了实际需求,但是减少了光刻胶的用量,节约了成本,在太阳电池技术领域具有良好的应用前景。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种在硅基底上制备栅线的方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202410043977.5
申请日 2024/1/11
公告号 CN117790603A
公开日 2024/3/29
IPC主分类号 H01L31/0224
权利人 云南师范大学
发明人 杨雯; 杨培志; 袁岳; 杨启明; 孟广昊; 王琴
地址 云南省昆明市呈贡区聚贤街768号

专利主权项内容

微信公众号 。1.一种在硅基底上制备栅线的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、确定区域:包括在硅基底表面上确定核心区域和非核心区域;步骤2、表面处理:包括处理硅基底的表面,使得核心区域的润湿性低、非核心区域的润湿性高;步骤3、光刻和显影:包括在硅基底上甩胶,使用光刻机器和光刻掩膜对光刻胶进行曝光;曝光后,去除光刻胶;步骤4、金属沉积:包括在栅线区域沉积金属;步骤5、去除光刻胶:包括去除硅基底上的光刻胶。