一种利用多晶硅生产中的危废尾气制备陶瓷材料的方法
摘要文本
本申请属于陶瓷材料技术领域，公开一种利用多晶硅生产中的危废尾气制备陶瓷材料的方法，包括以下步骤：将尾气注入到光化反应器中，进行光化反应，使尾气中的三氯氢硅转化为四氯化硅；将四氯化硅气体注入到热反应炉内，向热反应炉内注入过量的氨气，通过化学反应得到氮化硅颗粒；按照比例称取微米氮化硅粉末、纳米氮化硅粉末和添加剂，搅拌均匀；得到混合粉料；将混合粉料放入球磨机中球磨；将研磨料放入烘干箱在进行烘干，得到坯粉；将坯粉注入到冲压成型机中, 进行干压成型，形成坯体；将坯体放入碳棒通电的管式烧结炉中，进行烧结成型得到氮化硅陶瓷。本发明可将多晶硅生产中的危废尾气转化为氮化硅陶瓷，减小对环境的污染，实现变废为宝。
申请人信息
- 申请人:呼伦贝尔市汇博环保科技有限公司
- 申请人地址:021008 内蒙古自治区呼伦贝尔市海拉尔区友好六街1号
- 发明人: 呼伦贝尔市汇博环保科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种利用多晶硅生产中的危废尾气制备陶瓷材料的方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410244633.0 |
| 申请日 | 2024/3/5 |
| 公告号 | CN117819987A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | C04B35/584 |
| 权利人 | 呼伦贝尔市汇博环保科技有限公司 |
| 发明人 | 齐啸 |
| 地址 | 内蒙古自治区呼伦贝尔市海拉尔区友好六街1号 |
专利主权项内容
来自马-克-数-据-官网 。1.一种利用多晶硅生产中的危废尾气制备陶瓷材料的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将多晶硅生产中的尾气注入到光化反应器中，向光化反应器中注入氯气；打开紫外线灯照射，进行光化反应，使尾气中的三氯氢硅转化为四氯化硅；反应后输出为四氯化硅气体；S2、将四氯化硅气体注入到热反应炉内，向热反应炉内注入过量的氨气，通过热反应炉内的电加热装置进行加热，通过化学反应得到氮化硅颗粒；S3、取70%的氮化硅颗粒放入研磨机进行研磨，过5000目筛，得到微米氮化硅粉末；取30%的氮化硅颗粒放入研磨机进行研磨，过18万目筛，得到纳米氮化硅粉末；S4、按照重量比微米氮化硅粉末：纳米氮化硅粉末：添加剂=49：21：30称取微米氮化硅粉末、纳米氮化硅粉末和添加剂，混合在一起，搅拌均匀；得到混合粉料；S5、按照混合粉料：水=1：2(重量比)加入水，搅拌均匀；放入球磨机中，球磨四小时；S6、将步骤S5中得到的研磨料放入烘干箱在120℃进行烘干，过100目筛，得到坯粉；S7、将步骤S6中的坯粉注入到冲压成型机中, 成型压力为150MPa, 进行干压成型，然后以200MPa的压力进一步冷等静压，形成坯体；S8、将坯体放入箱式电阻炉中以1℃/分钟的速度升温到600℃，保温两小时；S9、将步骤S8中的坯体放入碳棒通电的管式烧结炉中，以高纯氮气为保护气氛，进行烧结成型，得到氮化硅陶瓷。