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时间分辨阴极荧光与超快扫描电子成像系统

申请号: CN202410167283.2
申请人: 北京大学
申请日期: 2024/2/6

摘要文本

本申请提供一种时间分辨阴极荧光与超快扫描电子成像系统,属于半导体测量技术领域,包括电子显微镜及电子成像系统,用于实现时间分辨的超快电子成像;飞秒激光器;波长选择光路,用于产生超连续光谱并对特定波长进行选择;泵浦光路,用于将目标波长的光脉冲引入电子显微镜的样品室,并对样品进行激发;电子束闸,设置在电子显微镜的镜筒内,且电子束闸位于远离电子显微镜的电子腔的位置,用于产生脉冲电子;频率发生器,与电子束闸连接,用于产生可调的方波信号;阴极荧光收集分析装置,用于收集样品产生的阴极荧光,并对荧光信号进行分析处理。通过本申请提供的一种时间分辨阴极荧光与超快扫描电子成像系统,可以降低对电子显微镜的损害。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 时间分辨阴极荧光与超快扫描电子成像系统
专利类型 发明申请
申请号 CN202410167283.2
申请日 2024/2/6
公告号 CN117705851A
公开日 2024/3/15
IPC主分类号 G01N23/2254
权利人 北京大学
发明人 王睿; 刘运全
地址 北京市海淀区中关村颐和园路5号

专利主权项内容

1.一种时间分辨阴极荧光与超快扫描电子成像系统,其特征在于,包括:电子显微镜及电子成像系统,用于实现时间分辨的二次电子超快成像;飞秒激光器,用于输出近红外飞秒激光;波长选择光路,用于产生超连续光谱并对激发波长进行选择;泵浦光路,用于将经过所述波长选择光路选择后的光脉冲引入电子显微镜的样品室,激发样品使样品处于激发态;电子束闸,用于将连续电子束转换为脉冲电子束,以激发样品或进行超快扫描成像,所述电子束闸设置在所述电子显微镜的镜筒内,且所述电子束闸位于远离所述电子显微镜的电子腔的位置;频率发生器,与所述电子束闸连接,用于改变电子束闸的电压,以生成电子脉冲;阴极荧光收集分析装置,用于收集样品产生的阴极荧光,并对荧光信号进行分析处理。