← 返回列表
用于多自由度电容位移传感器的标定装置和校准方法
摘要文本
本发明实施例公开了一种用于多自由度电容位移传感器的标定装置和校准方法，包括：悬挂调节结构，包括悬挂机构和调节机构；电极笼，通过多组相对设置的电极板组件围合形成具有容纳腔的笼状结构，电极板组件上电连有用于接收电极板组件上电信号的信号接收组件；多自由度驱动结构，用于放置电极笼，且能够以μrad和nm级精度驱动电极笼以至少一根转动轴为轴转动和/或沿至少一个方向移动；电极笼倾斜调整结构，用于调节电极笼与检验质量之间的倾斜角度。本发明通过对悬挂部分和底部的放置部分的设置，实现刚性检验质量与笼式检测部分的精确对准，进而通过简单的操作即可满足电容传感器多自由度标定的需求，同时还能够拥有超高的测量精确度。
申请人信息
- 申请人:中国科学院力学研究所
- 申请人地址:100190 北京市海淀区北四环西路15号
- 发明人: 中国科学院力学研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 用于多自由度电容位移传感器的标定装置和校准方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410021906.5 |
| 申请日 | 2024/1/5 |
| 公告号 | CN117760468A |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | G01C25/00 |
| 权利人 | 中国科学院力学研究所 |
| 发明人 | 王少鑫; 齐克奇; 郭纬川; 刘东旭; 詹璇; 罗子人 |
| 地址 | 北京市海淀区北四环西路15号 |
专利主权项内容
1.一种用于多自由度电容位移传感器的标定装置，其特征在于，包括：悬挂调节结构(2)，至少包括悬挂机构和调节机构，所述悬挂机构用于悬挂检验质量(1)，所述调节机构用于带动所述悬挂机构转动和/或沿至少一个方向平动；电极笼(3)，通过多组相对设置的电极板组件围合形成为具有容纳腔的笼状结构，且一组相对设置的所述电极板组件呈中心对称，所述电极板组件用于输出电信号，所述电极板组件上电连有用于接收所述电极板组件上的电信号的信号接收组件，所述检验质量(1)能够位于所述容纳腔中；多自由度驱动结构(4)，用于放置所述电极笼(3)，且能够带动所述电极笼(3)以至少一根转动轴为轴转动和/或沿至少一个方向平动；电极笼倾斜调整结构(5)，用于调节所述电极笼(3)与所述检验质量(1)之间的倾斜角度；且，所述悬挂调节结构(2)与所述电极笼倾斜调整结构(5)配合调节所述检验质量(1)与所述电极笼(3)的相对位置，所述多自由度驱动结构(4)用于为电容位移传感器的标定提供精确的位移和/或角度输出。