一种通过多重激光快速平整金刚石膜的方法

专利主权项内容

1.一种通过多重激光快速平整金刚石膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、CVD金刚石膜沉积；采用化学气相沉积设备制备CVD金刚石膜，获得沉积厚度50μm以上金刚石膜；步骤2、纳秒激光诱导形成石墨启动层；使用纳秒激光以与步骤1得到的金刚石膜表面成大角度，并以特定周期性路径对生长表面进行扫描，从而诱导形成一层石墨启动层；步骤3、高能激光初步研磨；使用高能近红外微秒激光，对步骤2得到的金刚石膜的生长表面进行初步平整化旋转加工，设置高脉宽大线间距模式对粗糙表面进行快速平整化，初步加工后表面粗糙度＜3μm；步骤4、高能激光精细研磨；对步骤3得到的金刚石膜进行精细加工，加工参数设置低脉宽小线间距模式，对初步平整化表面进行精细加工；步骤5、清洗；对步骤4得到的金刚石膜酸洗去除表层石墨，对表面进行清洗，获得表面光滑平整的金刚石膜。