一种基于自适应的半导体AMHS轨道布局方法及装置

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本发明公开了一种基于自适应的半导体AMHS轨道布局方法及装置，获取用于半导体生产的设备布局信息，得到半导体生产的布局类型；确定划分的洁净区域和通道，给出对应洁净区域和通道的设备属性信息列表，形成针对半导体生产的搬运需求列表；基于设备属性信息列表及搬运需求列表，通过第一自适应规则确定目标轨道的层级及各层级对应的轨数，并确定各级目标轨道的位置；根据设备属性信息列表，通过第二自适应规则，确定过渡轨道的轨数和位置；基于各级目标轨道以及过渡轨道的轨数和位置，完成半导体AMHS轨道的布局。通过自适应、分层级的设置，实现AMHS轨道的快速高效布局，又根据生产搬运需求优化、调整，提升半导体生产中物流搬运效率。