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基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法
摘要文本
本发明提供了一种基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法, 其包括：(1)调节检验质量位于电极笼中心位置，且检验质量相对于电极笼的平动误差小于5μm，转动误差小于200μrad；(2)控制电极笼分别在XY平面、XZ平面、YZ平面上做圆周运动；(3)检测敏感装置在X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压，并采集该输出电压；(4)对输出电压进行解调处理，得到X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压幅值；(5)将各通道输出电压幅值与圆周运动半径作比，得到各通道的位移增益系数。本发明构思合理, 能实现对电容传感器在多自由度上的高效标定，得到各通道电容传感电路电压—位移增益系数。
申请人信息
- 申请人:中国科学院力学研究所
- 申请人地址:100190 北京市海淀区北四环西路15号
- 发明人: 中国科学院力学研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410016811.4 |
| 申请日 | 2024/1/5 |
| 公告号 | CN117804502A |
| 公开日 | 2024/4/2 |
| IPC主分类号 | G01C25/00 |
| 权利人 | 中国科学院力学研究所 |
| 发明人 | 王少鑫; 刘东旭; 齐克奇; 郭纬川; 詹璇; 罗子人 |
| 地址 | 北京市海淀区北四环西路15号 |
专利主权项内容
1.一种基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法, 其特征在于，所述标定测试方法主要包括以下步骤：(1)调节检验质量位于电极笼中心位置，且检验质量相对于电极笼的平动误差小于5μm，转动误差小于200μrad；(2)控制电极笼分别在XY平面、XZ平面、YZ平面上做圆周运动；(3)检测敏感装置在X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压，并采集该输出电压；(4)对上述步骤(3)中的输出电压进行解调处理，得到X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压幅值；(5)将上述步骤(4)中得到的X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压幅值与圆周运动半径作比，得到X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的位移增益系数。