工艺监测器及其芯片老化测试方法

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本公开提供一种工艺监测器及其芯片老化测试方法。工艺监测器包括译码器、逻辑电路、振荡器电路、多路复用器以及计数器。译码器输出选择信号。逻辑电路耦接译码器，并根据选择信号以及老化测试使能信号产生第一控制信号。振荡器电路耦接逻辑电路，并包括多个振荡器。多路复用器耦接逻辑电路以及译码器。计数器耦接振荡器电路。振荡器电路根据第一控制信号来输出至少一时钟信号至多路复用器，并多路复用器根据选择信号输出至少一时钟信号的其中之一个至计数器。计数器对至少一时钟信号的其中之一个进行计数，以输出对应于芯片老化程度的计数结果。本公开的工艺监测器及其芯片老化测试方法，可有效地测试芯片老化程度。