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一种防水型晶圆搬运机械手
摘要文本
本发明公开了一种防水型晶圆搬运机械手，包括机械手，所述机械手包括机械臂、防水增高筒、翻转机构和晶圆夹持手，所述机械臂、防水增高筒、翻转机构和晶圆夹持手配合运动并供晶圆夹持搬运；防水部，所述防水部包括死防水分部和活防水分部；以及预警部，所述预警部与死防水分部配合并监测大空间内的区域湿度，涉及晶圆搬运防水设备技术领域。本发明一方面通过机械臂、防水增高筒、翻转机构、晶圆夹持手和机械臂盖板的外部均喷涂有特氟龙疏水层进行设备外部的防水，另一方面通过防水部中的死防水分部和活防水分部对机械臂、防水增高筒、翻转机构、晶圆夹持手和机械臂盖板连接的部分进行主动防水，可以有效提升晶圆搬运机械手的防水性能。 （来自 ）
申请人信息
- 申请人:北京锐洁机器人科技有限公司
- 申请人地址:100176 北京市通州区北京经济技术开发区科创十四街99号33幢C栋603室
- 发明人: 北京锐洁机器人科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种防水型晶圆搬运机械手 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410135959.X |
| 申请日 | 2024/1/31 |
| 公告号 | CN117690857A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 北京锐洁机器人科技有限公司 |
| 发明人 | 李庆达; 刘冬梅; 王强; 王勇 |
| 地址 | 北京市通州区北京经济技术开发区科创十四街99号33幢C栋603室 |
专利主权项内容
1.一种防水型晶圆搬运机械手，其特征在于, 包括机械手，所述机械手包括机械臂(1)、防水增高筒(2)、翻转机构(3)和晶圆夹持手(4)，所述机械臂(1)、防水增高筒(2)、翻转机构(3)和晶圆夹持手(4)配合运动并供晶圆夹持搬运；防水部，所述防水部包括死防水分部和活防水分部，所述死防水分部与机械臂(1)和翻转机构(3)配合、且工作状态不活动，所述活防水分部与晶圆夹持手(4)配合、且工作状态随晶圆夹持手(4)活动；以及预警部，所述预警部与死防水分部配合并监测大空间内的区域湿度。