大行程高精度的微位移促动装置

专利主权项内容

1.一种大行程高精度的微位移促动装置，其特征在于，包括第一底座组件、大行程机构、微位移促动机构和第二底座组件；所述微位移促动机构通过螺钉固定在所述大行程机构上，使所述大行程机构带动所述微位移促动机构进行微位移调节；所述第一底座组件通过螺钉固定在所述大行程机构上远离所述微位移促动机构的一端；所述第二底座组件通过螺钉固定在所述微位移促动机构上远离所述大行程机构的一端；其中，所述大行程机构包括滚珠丝杠、减速箱和消间隙结构；所述滚珠丝杠的一端通过所述消间隙结构与所述第一底座组件相连，所述滚珠丝杠的另一端通过预紧螺母固定在减速箱套装的顶端，所述滚珠丝杠与所述减速箱配合使所述减速箱沿所述滚珠丝杠进行直线运动；所述微位移促动机构包括直线运动组件、一级放大机构和二级放大机构；所述直线运动组件垂直固定在所述减速箱上，所述二级放大机构为对称的方形门结构，所述二级放大机构的底端通过螺钉与所述消间隙结构相连，所述第二底座组件通过螺钉固定在所述二级放大机构的顶端；所述一级放大机构为对称的梯形门结构，所述一级放大机构的底端固定在所述直线运动组件上，所述一级放大机构的顶端与所述二级放大机构相连，使所述一级放大机构受直线运动组件的驱动，带动所述二级放大机构完成微位移调节。