抛光与原位检测装置及抛光加工方法

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本发明涉及光学元件加工技术领域，涉及一种抛光与原位检测装置及抛光加工方法；装置包括工作台、抛光机构、原位检测装置及检测定位装置，检测定位装置设于工作台上；原位检测装置包括可翻转设在工作台上的检测支架、设在检测支架上的条纹显示装置及图像摄取装置，对工作台上的加工件进行检测时，原位检测装置能够翻转定位在检测定位装置上，条纹显示装置能够将显示的条纹反射至加工件，图像摄取装置用于摄取反射有条纹的加工件，以进行原位检测。本发明的抛光与原位检测装置，通过可翻转的设置及高精度的定位装置，可实现在同一加工件的加工检测迭代过程中快速的原位检测，极大地提高了加工检测的迭代速度，适用于光学元件的大规模批量化制造。