一种线膨胀系数检测装置及方法

专利主权项内容

1.一种线膨胀系数检测装置，其特征在于，包括斐索干涉系统和温控系统，其中所述斐索干涉系统具有激光器、扩束镜、参考光路准直镜、测试光路准直镜以及标准镜，所述温控系统包括用于容纳组合镜并提供真空环境的热真空腔，所述热真空腔采用热沉技术进行精准温度的控制，所述热真空腔开口处设有透明窗口；由所述激光器发出的工作光经过所述扩束镜进行扩束后，经过所述测试光路准直镜、所述标准镜以及所述透明窗口照射在所述热真空腔内，一部分反射光经过所述透明窗口、所述标准镜、所述测试光路准直镜后经由所述参考光路准直镜射出，根据实时长度变化量、变化温度以及初始高度确定所述组合镜的线膨胀系数，其中，所述组合镜的初始高度由三坐标测量仪测量得出，所述实时长度变化量通过在温度变化的情况下所述组合镜的上下表面同时进行不同程度的形变，从所述面形数据中提取出的两个平移变化量作差得出，所述变化温度通过所述组合镜膨胀前后对热真空腔进行精准温度的控制获得。