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一种硅通孔的测试结构
摘要文本
本发明涉及半导体技术领域，具体提供一种硅通孔的测试结构，包括测试装置、底座以及基板，底座固接于测试装置底壁，基板上开设有硅通孔和限位槽，测试装置内开设有测试腔，测试腔内设有测试机构和除尘机构，底座上设有夹持固定机构，基板连接于测试机构上，测试装置内设有处理模块。本发明对基板的硅通孔进行测试前能够对基板进行清洁灰尘，且不需要人工手动插入探针卡于硅通孔内，自动进行测试，方便快捷，设计巧妙，联动性高，实用性高，提高测试的效率。
申请人信息
- 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 发明人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅通孔的测试结构 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410105869.6 |
| 申请日 | 2024/1/25 |
| 公告号 | CN117637516A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | H01L21/66 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 发明人 | 余毅; 李彦庆; 何锋赟 |
| 地址 | 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号 |
专利主权项内容
1.一种硅通孔的测试结构，其特征在于，包括测试装置(1)、底座(2)以及基板(6)，底座(2)固接于测试装置(1)底壁，基板(6)上开设有硅通孔(7)和限位槽(8)，测试装置(1)内开设有测试腔(3)，测试腔(3)内设有测试机构和除尘机构；除尘机构包括风机(5)，风机(5)设于测试腔(3)侧壁；测试机构包括测试器(22)、传动线(28)、传动滑轮(29)、第三永磁铁(30)、按杆(31)、限位片(32)、连接座(33)以及两个转动机构，底座(2)上设有夹持固定机构，基板(6)连接于测试机构上，测试装置(1)内设有处理模块。