碳化硅粉料连续合成设备和方法
摘要文本
本发明的实施例提供了一种碳化硅粉料连续合成设备和方法，涉及碳化硅合成技术领域，该设备包括反应炉、加热环、气体控制装置、吊装旋转装置和承载装置，在反应炉内由上至下依次设置进料过渡仓、反应仓和出料过渡仓，在反应仓的周围设置加热环实现反应加热，并通过气体控制装置来控制炉内的气氛类型和气压。在反应炉的顶部设置吊装旋转装置，在反应炉的底部设置承载装置。相较于现有技术，本发明实施例提供的碳化硅粉料连续合成设备，能够实现向反应炉内连续加入坩埚，实现不间断式的粉料合成动作，从而实现了碳化硅粉料的连续合成，大大提升了生产效率。
申请人信息
- 申请人:通威微电子有限公司
- 申请人地址:610299 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内
- 发明人: 通威微电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 碳化硅粉料连续合成设备和方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410252044.7 |
| 申请日 | 2024/3/6 |
| 公告号 | CN117816047A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | B01J3/00 |
| 权利人 | 通威微电子有限公司 |
| 发明人 | 徐红立; 林育仪 |
| 地址 | 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内 |
专利主权项内容
1.一种碳化硅粉料连续合成设备，其特征在于，包括：反应炉(110)，所述反应炉(110)内由上至下依次设置有进料过渡仓(111)、反应仓(113)和出料过渡仓(115)，所述反应仓(113)连接在所述进料过渡仓(111)的底部，并与所述进料过渡仓(111)选择性地导通，所述出料过渡仓(115)连接在所述反应仓(113)的底部，并与所述反应仓(113)选择性地导通；加热环(130)，所述加热环(130)设置在所述反应仓(113)的周围，用于加热所述反应仓(113)；气体控制装置(150)，所述气体控制装置(150)连接至所述反应炉(110)，用于控制所述反应炉(110)内的气氛类型和气压；吊装旋转装置(170)，所述吊装旋转装置(170)活动设置在所述反应炉(110)的顶部，用于将装入所述进料过渡仓(111)的坩埚(200)向下可拆卸地装配至所述反应仓(113)内的所述坩埚(200)，并带动多个所述坩埚(200)向下移动；承载装置(190)，所述承载装置(190)活动设置在所述反应炉(110)的底部，用于承载所述坩埚(200)，并将进入所述出料过渡仓(115)的坩埚(200)从所述反应仓(113)内的所述坩埚(200)上拆下；其中，所述反应炉(110)用于连续装入多个所述坩埚(200)，多个所述坩埚(200)沿上下方向依次分布在所述反应炉(110)内，所述吊装旋转装置(170)还用于在底部的所述坩埚(200)进入所述出料过渡仓(115)后脱离顶部的所述坩埚(200)并复位至所述进料过渡仓(111)的顶部，所述承载装置(190)还用于在拆下的所述坩埚(200)取出所述出料过渡仓(115)后向上可拆卸地接合至所述反应仓(113)内的所述坩埚(200)。