对准标记及图形对准方法

摘要文本

本申请涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种对准标记及图形对准方法。对准标记，包括：对准标记图案，第一标记群，位于对准标记图案的第一方向，第二标记群，位于对准标记图案的第二方向，第三标记群，位于对准标记图案的第三方向，第四标记群，位于对准标记图案的第四方向，第一标记群、第二标记群、第三标记群和第四标记群共同构成环状图案将对准标记图案围在中间，对准标记图案、第一标记群、第二标记群、第三标记群和第四标记群各不相同。通过本申请实施例的对准标记可以快速找到对准标记图案，对准效率得到极大提高。