一种蒸发卷绕机构及真空镀膜机
摘要文本
本发明属于镀膜设备技术领域，公开了一种蒸发卷绕机构及真空镀膜机，其中的一种蒸发卷绕机构，包括：电子束蒸发源，用于使目标膜材蒸发以产生镀膜气体；以及卷绕辊组，用于传送具有镀膜面的柔性镀膜件，且设于所述电子束蒸发源的上方；所述卷绕辊组包括至少两个镀膜辊，每一镀膜辊以所述电子束蒸发源为中心沿圆周方向依次分布，且每一镀膜辊均能够使绕于其上的柔性镀膜件的镀膜面朝向于电子束蒸发源，以在镀膜时，绕经每一镀膜辊的所述柔性镀膜件的镀膜面至少部分暴露于所述镀膜气体形成的气氛中。本发明能够成膜更加牢固，也能够使成膜更为细腻，可减少微观大颗粒现象，并且能够使材料利用率能够有效提高。
申请人信息
- 申请人:成都国泰真空设备有限公司
- 申请人地址:610000 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号
- 发明人: 成都国泰真空设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种蒸发卷绕机构及真空镀膜机 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410176035.4 |
| 申请日 | 2024/2/8 |
| 公告号 | CN117721434A |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | C23C14/56 |
| 权利人 | 成都国泰真空设备有限公司 |
| 发明人 | 卢成; 张勇军; 王伟; 魏佳; 黄桂祥 |
| 地址 | 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号 |
专利主权项内容
1. 一种蒸发卷绕机构，其特征在于：包括：蒸发源，用于使目标膜材蒸发以产生镀膜气体；以及卷绕辊组(2)，用于传送具有镀膜面的柔性镀膜件，且设于所述蒸发源的上方；所述卷绕辊组(2)包括至少两个镀膜辊(22)，每一镀膜辊(22)以所述蒸发源为中心沿圆周方向依次分布，且每一镀膜辊(22)均能够使绕于其上的柔性镀膜件的镀膜面朝向于蒸发源，以在镀膜时，绕经每一镀膜辊(22)的所述柔性镀膜件的镀膜面至少部分暴露于所述镀膜气体形成的气氛中；所述卷绕辊组(2)还包括放卷辊(21)和收卷辊(23)，每一所述镀膜辊(22)同时衔接在放卷辊(21)和收卷辊(23)之间；所述卷绕辊组(2)中在传送方向处于第一个的镀膜辊(22)与所述放卷辊(21)之间衔接有第一功能辊组(24)，相邻的镀膜辊(22)之间衔接有第二功能辊组(25)，卷绕辊组(2)中在传送方向处于最后一个的镀膜辊(22)与所述收卷辊(23)之间衔接有第三功能辊组(26)；其中，所述第一功能辊组(24)、所述第二功能辊组(25)和第三功能辊组(26)均包括至少一个导向辊和/或至少一个展平辊(220)；所述第一功能辊组(24)、所述第二功能辊组(25)和第三功能辊组(26)结构相同；所述第一功能辊组(24)包括两个导向辊和衔接于两个导向辊之间的展平辊(220)；所述柔性镀膜件经所述第一功能辊组(24)、所述第二功能辊组(25)和第三功能辊组(26)的导向辊导向后，绕经每一镀膜辊(22)的柔性镀膜件的镀膜面均能够朝向于电子束蒸发源。