← 返回列表
工艺参数确定方法及其系统、生产系统
摘要文本
本申请涉及一种工艺参数确定方法及其系统、生产系统。该工艺参数确定方法包括：获取历史产品数据及历史工艺数据；根据历史产品数据和历史工艺数据之间的对应关系建立匹配模型；确定目标产品参数及对应的m个初始工艺参数；其中，m≥2且为整数；根据匹配模型，确定各初始工艺参数独立调节时目标产品参数的第一变化量；根据匹配模型，确定各初始工艺参数同时调节时目标产品参数的第二变化量；根据第一变化量和第二变化量共同确定目标产品参数的补偿值；根据初始工艺参数的数量、第一变化量、补偿值以及历史产品数据分别确定各初始工艺参数对应的目标工艺参数。该工艺参数确定方法可以提高工艺参数确定的准确度，从而可以确保并改善产品良率。 该数据由<马克数据网>整理
申请人信息
- 申请人:合肥晶合集成电路股份有限公司
- 申请人地址:230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
- 发明人: 合肥晶合集成电路股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 工艺参数确定方法及其系统、生产系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410207104.3 |
| 申请日 | 2024/2/26 |
| 公告号 | CN117787018A |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | G06F30/20 |
| 权利人 | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 发明人 | 崔立加; 卢俊玮; 王旭东; 王梦晴 |
| 地址 | 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号 |
专利主权项内容
1.一种工艺参数的确定方法，其特征在于，包括：获取历史产品数据及历史工艺数据；根据所述历史产品数据和所述历史工艺数据之间的对应关系建立匹配模型；确定目标产品参数及对应的m个初始工艺参数；其中，m≥2且为整数；根据所述匹配模型，确定各所述初始工艺参数独立调节时所述目标产品参数的第一变化量；根据所述匹配模型，确定各所述初始工艺参数同时调节时所述目标产品参数的第二变化量；根据所述第一变化量和所述第二变化量共同确定所述目标产品参数的补偿值；根据所述初始工艺参数的数量、所述第一变化量、所述补偿值以及所述历史产品数据分别确定各所述初始工艺参数对应的目标工艺参数。 更多数据：搜索马克数据网来源：www.macrodatas.cn