退火方法

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本发明提供一种退火方法，包括：提供多组测试晶圆，且对多组测试晶圆执行第一时间段的退火工艺；其中，第一时间段小于退火工艺的标准退火时间；分别对各组测试晶圆继续执行不同的第二时间段的退火工艺；对各组测试晶圆分别执行晶圆接受测试；至少根据测试结果和对应的第一时间段及第二时间段构建测试数据库；至少根据测试数据库，确定退火中断的晶圆的二次退火时间，以作为晶圆的退火补偿时间；对晶圆继续执行时长为退火补偿时间的退火工艺。可见，通过构建退火测试结果与退火时间的测试数据库，可据此获取晶圆的退火补偿时间，以执行二次退火工艺，实现对退火中断的晶圆的补救，有效降低了晶圆报废率和经济损失。