晶圆金属元素分析方法及分析系统

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本发明提供一种晶圆金属元素分析方法及分析系统，晶圆金属元素分析方法包括：刻蚀晶圆表面的硅化物；通过承接台承接所述晶圆；通过旋转轴驱动所述承接台转动；通过扫描管于所述晶圆表面牵引提取液运动，以收集金属离子溶液；改变所述旋转轴于所述承接台上的位置，以使得所述扫描管进行不同区域扫描；以及进行所述提取液的金属元素浓度检测，以确认所述晶圆污染源位置。本发明可准确收集缺陷区域金属污染的液滴，实现精准检测浓度，确定分布范围。