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氮化镓气体传感器及其制备方法、气体检测方法
摘要文本
本申请公开了氮化镓气体传感器及其制备方法、气体检测方法，氮化镓气体传感器包括：衬底；依次设置在衬底一侧的第一支撑层、沟道层、势垒层和绝缘层；间隔设置的第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽贯穿绝缘层；第一电极；第二电极；多个通孔，通孔贯穿第一支撑层、沟道层、势垒层和绝缘层，多个通孔之间的结构组成悬臂梁；吸收层，吸收层覆盖悬臂梁的势垒层远离衬底的至少部分表面；衬底具有第三凹槽，第三凹槽贯穿衬底，多个通孔和悬臂梁在衬底上的正投影落在第三凹槽的范围内。由此，该气体传感器可以利用不同气体热导率不同的特性，实现对不同气体的特异性检测，并且，该气体传感器具有较高的灵敏度。
申请人信息
- 申请人:合肥美镓传感科技有限公司
- 申请人地址:230088 安徽省合肥市高新区中安创谷一期A1栋1407室
- 发明人: 合肥美镓传感科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 氮化镓气体传感器及其制备方法、气体检测方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410162783.7 |
| 申请日 | 2024/2/5 |
| 公告号 | CN117705897A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | G01N27/12 |
| 权利人 | 合肥美镓传感科技有限公司 |
| 发明人 | 卓启明; 孙剑文 |
| 地址 | 安徽省合肥市高新区中安创谷一期A1栋1407室 |
专利主权项内容
1.一种氮化镓气体传感器，其特征在于，包括：衬底；依次设置在所述衬底一侧的第一支撑层、沟道层、势垒层和绝缘层；间隔设置的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽贯穿所述绝缘层；第一电极，所述第一电极填充所述第一凹槽的至少部分空间并覆盖所述势垒层远离所述衬底的部分表面；第二电极，所述第二电极填充所述第二凹槽的至少部分空间并覆盖所述势垒层远离所述衬底的部分表面；多个通孔，所述通孔贯穿所述第一支撑层、所述沟道层、所述势垒层和所述绝缘层，多个所述通孔之间的结构组成悬臂梁；吸收层，所述吸收层覆盖所述悬臂梁的势垒层远离所述衬底的至少部分表面；所述衬底具有第三凹槽，所述第三凹槽贯穿所述衬底，多个所述通孔和所述悬臂梁在所述衬底上的正投影落在所述第三凹槽的范围内。