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一种基于紫外光的金刚石快速抛光方法及装置
摘要文本
本发明公开了一种基于紫外光的金刚石快速抛光方法及装置，涉及金刚石抛光技术领域，包括对抛光室内部实施金刚石和抛光液的上料操作，驱动抛光盘运转，对金刚石的表面实施抛光操作，开启供氧单元和紫外发生单元，所述供氧单元对抛光室内部输入氧气，并且将氧气输出至夹具位置，所述紫外发生单元将紫外光源照射在抛光盘表面及其周围。本发明通过紫外发生单元与供氧单元的结合，在抛光过程中可陆续产生氧自由基以及臭氧分子，可以高效地氧化改性晶片。再通过抛光盘和金刚石片之间的机械研磨作用去除氧化改性层，将机械拋光与化学氧化抛光相结合，增强了金刚石基体的氧化速度，提升了去除率和抛光质量。
申请人信息
- 申请人:合肥先端晶体科技有限责任公司
- 申请人地址:230000 安徽省合肥市高新区望江西路900号创谷科技园一期A3楼5层512A室
- 发明人: 合肥先端晶体科技有限责任公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于紫外光的金刚石快速抛光方法及装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410156192.9 |
| 申请日 | 2024/2/4 |
| 公告号 | CN117681064A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | B24B1/00 |
| 权利人 | 合肥先端晶体科技有限责任公司 |
| 发明人 | 黄莹莹; 宋学瑞; 林盛然 |
| 地址 | 安徽省合肥市高新区望江西路900号创谷科技园一期A3楼5层512A室 |
专利主权项内容
1.一种基于紫外光的金刚石快速抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：对抛光室内部实施金刚石和抛光液的上料操作，所述抛光室内具有多个容纳金刚石片置入的夹具，所述夹具、金刚石片可同步往复运动，所述夹具的下方设置有抛光盘，将抛光液混合均匀后涂抹在抛光盘表面；驱动抛光盘运转，所述抛光盘的下方设置有与其型号相适配的驱动电机，所述抛光盘高速转动，对金刚石的表面实施抛光操作，此时，所述夹具、金刚石片位于抛光盘上方呈往复运动状态；开启供氧单元和紫外发生单元，所述供氧单元对抛光室内部输入氧气，并且将氧气输出至夹具位置，所述紫外发生单元将紫外光源照射在抛光盘表面及其周围，与供氧单元所输入的氧气接触，产生臭氧分子，加速金刚石表面氧化改性层的形成，促进金刚石表面氧化；抛光完成后，将金刚石片从夹具上取下，超声清洗得到洁净的金刚石片。 来自：马 克 团 队