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扫描方法、装置、系统、存储介质和电子设备
摘要文本
本发明公开了一种扫描方法、装置、系统、存储介质和电子设备，扫描方法包括：获取待扫描样品的表面高度信息；根据表面高度信息，从待扫描样品的表面区域中确定待扫描区域；基于待扫描区域对应的扫描方式，对待扫描样品中与待扫描区域对应的部分进行扫描。本申请的扫描方法对待扫描样品进行分区扫描，不同区域对应的扫描方法不同，提高了扫描效率。
申请人信息
- 申请人:国仪量子技术(合肥)股份有限公司
- 申请人地址:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼A区1-4层
- 发明人: 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 扫描方法、装置、系统、存储介质和电子设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410140334.2 |
| 申请日 | 2024/2/1 |
| 公告号 | CN117665032A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | G01N23/2251 |
| 权利人 | 国仪量子技术(合肥)股份有限公司 |
| 发明人 | 吴泽锋; 黎培聪; 卢诗毅; 景子君; 曹峰; 张伟; 贺羽 |
| 地址 | 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼A区1-4层 |
专利主权项内容
1.一种扫描方法，其特征在于，所述方法包括：获取待扫描样品的表面高度信息；根据所述表面高度信息，从所述待扫描样品的表面区域中确定待扫描区域；基于所述待扫描区域对应的扫描方式，对所述待扫描样品中与所述待扫描区域对应的部分进行扫描。 （更多数据，详见马克数据网）