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微型压电换能器的极简化制备方法及微型压电换能器
摘要文本
本发明涉及电子器件技术领域，并提供了一种微型压电换能器的极简化制备方法及微型压电换能器。该制备方法包括如下步骤：在衬底上依次制备底电极层、压电层和顶电极层；对顶电极层和压电层进行第一图案化处理，形成露出底电极层的第一图案孔；在顶电极层和底电极层上制备绝缘介质层；对绝缘介质层进行第二图案化处理，在绝缘介质层中形成间隔设置的顶电极接触孔和底电极接触孔；以及，在顶电极接触孔和底电极接触孔中制备导电接触层，导电接触层包括位于顶电极接触孔中的顶电极接触部以及位于底电极接触孔中的底电极接触部。该制备方法能够有效简化压电换能器的制造工艺流程，提高生产效率。
申请人信息
- 申请人:山东博华电子科技发展有限公司; 山东超探电子科技有限公司
- 申请人地址:255000 山东省淄博市高新区中润大道158号MEMS产业园7栋
- 发明人: 山东博华电子科技发展有限公司; 山东超探电子科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 微型压电换能器的极简化制备方法及微型压电换能器 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410172205.1 |
| 申请日 | 2024/2/7 |
| 公告号 | CN117750285A |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | H04R17/00 |
| 权利人 | 山东博华电子科技发展有限公司; 山东超探电子科技有限公司 |
| 发明人 | 刘通; 朱朋建; 牟言鹏; 张晓琳 |
| 地址 | 山东省淄博市高新区中润大道158号MEMS产业园7栋; |
专利主权项内容
1.一种微型压电换能器的极简化制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在衬底上依次制备底电极层、压电层和顶电极层；对所述顶电极层和所述压电层进行第一图案化处理，形成露出所述底电极层的第一图案凹槽；在所述顶电极层和所述底电极层上制备绝缘介质层；对所述绝缘介质层进行第二图案化处理，在所述绝缘介质层中形成间隔设置的顶电极接触槽和底电极接触槽，所述顶电极层从所述顶电极接触槽中露出，所述底电极层从所述底电极接触槽中露出；以及，在所述顶电极接触槽和所述底电极接触槽中制备导电接触层，所述导电接触层包括位于所述顶电极接触槽中的顶电极接触部以及位于所述底电极接触槽中的底电极接触部。