一种含氟聚硅氧烷及其制备方法、光刻胶组合物及其应用
摘要文本
本发明属于光刻技术领域，具体涉及一种含氟聚硅氧烷及其制备方法、光刻胶组合物及其应用。本发明提供了一种含氟聚硅氧烷，具有式A所示结构： 式A。在本发明中，含氟聚硅氧烷中大部分氢原子被氟原子取代，使其在通讯波段吸收较小。该材料制成的光刻胶组合物可以在紫外波长200nm～400nm的范围内曝光并成像制作成具有良好柔性的波导器件。本发明提供的含氟聚硅氧烷聚合物用于氟化聚合物光刻胶材料时，能够同时作为光波导器件的芯层和包层，因芯层和包层的材料结构相似，应力差异小，使得芯层和包层匹配性好、结合力强、进而提高光波导器件的性能。。微信公众号马克 数据网
申请人信息
- 申请人:山东同益光刻胶材料科技有限公司
- 申请人地址:261200 山东省潍坊市坊子区凤凰街道凤和街北斗科技创新产业园6号车间楼101间
- 发明人: 山东同益光刻胶材料科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种含氟聚硅氧烷及其制备方法、光刻胶组合物及其应用 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410217079.7 |
| 申请日 | 2024/2/28 |
| 公告号 | CN117777455A |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | C08G77/24 |
| 权利人 | 山东同益光刻胶材料科技有限公司 |
| 发明人 | 崔占臣; 汪岳; 张英超; 史作森 |
| 地址 | 山东省潍坊市坊子区凤凰街道凤和街北斗科技创新产业园6号车间楼101间 |
专利主权项内容
1.一种含氟聚硅氧烷，其特征在于，具有式A所示结构：
式A；其中，R及R独立的为具有1~8个碳原子的支链或直链氟烷基基团，具有1~6个碳原子的烷基、1~12个碳原子的全氟代苯基或1~12个碳原子的半氟代苯基；R和R不能同时为具有1~6个碳原子的烷基基团；11131113R为具有1~12个碳原子的烷基、苯基、具有1~6个碳原子的烷氧基或；其中R、R及R独立的为具有1~12个碳原子的烷基、苯基或/>；s为2~13的整数；R、R及R独立的为具有1~12个碳原子的烷基或苯基；25678910R为，其中，X和X独立的为-H或-F；X为-H、-F或-CH；X和X独立的为-H、-F或-CF；Ro为具有1~5个交联性3~6元环的环醚结构的碳原子数2~10的1价有机基团、具有1~5个作为3元环交联性环醚结构的环氧乙烷结构的碳原子数为2~10的有机基团、具有1~5个式/>的碳原子数为3~10的有机基团、具有1~5个式/>的碳原子6~10的有机基团；所述3元环交联性环醚结构的环氧乙烷结构为/>或/>；/>中G是碳原子数3~10的单环结构、多环结构或杂环结构中氢原子部分被碳原子数1~6的烷基取代的有机基团；X为碳原子数1~6的烷基；a为0~6的整数，b为0或1；e1233453>n为5~20的整数，m为5~20的整数。 来源：百度马 克 数据网