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一种大规格碳化硅三重螺旋轴的制备方法

申请号: CN202410199430.4
申请人: 山东三责半导体新材料有限公司
申请日期: 2024/2/23

摘要文本

本发明公开了一种大规格碳化硅三重螺旋轴的制备方法,它属于特种陶瓷技术领域,根据三重螺旋轴结构设计模芯图纸,制作芯模;利用芯模制作模具,模具包括底板,底板上设有相互配合的3块螺旋形模块形成的模腔,模具上端设置不封闭的浇冒口;将料浆从浇冒口缓缓倒入,浇注过程及时补浆;按照顺序打开上部的3块型块,底板不动,利用底板拖住毛坯,毛坯自然干燥后脱离模具底板送入烘干室,先进行一段时间的低温烘干再进行一段时间的高温烘干;将高温烘干后的毛坯进行加工,制作分件毛坯,将分件毛坯利用专用工装组装加长,用料浆粘接;将粘接后的分件毛坯在石墨板上平放,并把硅粉撒在粘接后的毛坯的四周,装炉后入炉真空烧结。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种大规格碳化硅三重螺旋轴的制备方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202410199430.4
申请日 2024/2/23
公告号 CN117774112A
公开日 2024/3/29
IPC主分类号 B28B13/02
权利人 山东三责半导体新材料有限公司
发明人 闫永杰; 亓锡云; 任传志; 周国伟
地址 山东省潍坊市坊子区坊城街道永宁路0669号5号车间(永宁路与翠坊街交叉口北500米路西)

专利主权项内容

1.一种大规格碳化硅三重螺旋轴的制备方法,其特征是,包括如下步骤:步骤1,模芯设计及加工:根据三重螺旋轴结构设计模芯图纸,制作芯模;步骤2,模具制作:利用芯模制作模具,三重螺旋轴是三线螺旋结构,采用3块螺旋型模块配合形成模腔,底部设配合模腔的底板,即上面3块型块分开后,下部底板拖住毛坯,防止毛坯移动过程中变形,模具上端设置不封闭的浇冒口;步骤3,注浆制作毛坯:将料浆从浇冒口缓缓倒入,便于排出模腔内气体,浇注过程及时补浆;步骤4,毛坯脱模与烘干:按照顺序打开上部的3块型块,底板不动,利用底板拖住毛坯,毛坯自然干燥后脱离模具底板送入烘干室,先进行第一阶段烘干后再进行第二阶段烘干;步骤5,毛坯加工、修理与组装:将第二阶段烘干后的毛坯进行加工,制作分件毛坯,将分件毛坯利用专用工装组装加长,用料浆粘接;步骤6,真空烧结:将粘接后的毛坯在石墨板上平放,按照计算的重量称量硅粉,并把硅粉撒在粘接后的毛坯的四周,装炉后入炉真空烧结。