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一种大尺寸碳化硅陶瓷晶舟的制备方法
摘要文本
本发明公开了一种大尺寸碳化硅陶瓷晶舟的制备方法，属于碳化硅陶瓷晶舟技术领域，所述制备方法由以下步骤组成：制备纤维气凝胶，制备包覆硅粉，等静压成型，一次烧结，浸渍，二次烧结；所述等静压成型，将碳化硅微粉、纤维气凝胶、包覆硅粉混合均匀，得到混合粉；将混合粉灌入大尺寸晶舟模具中，进行冷等静压成型，得到素坯；所述浸渍，将一次烧结物和纳米硅水分散液置于真空容器中，控制真空容器内的真空度为300‑400KPa，温度为40‑50℃，浸渍5‑6h后取出，得到浸渍后的坯体；本发明能够提高大尺寸碳化硅陶瓷晶舟的断裂韧性、室温抗弯强度、高温抗弯强度的同时，保证高纯度和高致密度，提高可抛光性和导热性。
申请人信息
- 申请人:山东华美新材料科技股份有限公司
- 申请人地址:261200 山东省潍坊市坊子区北大营街3号院内
- 发明人: 山东华美新材料科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种大尺寸碳化硅陶瓷晶舟的制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410195073.4 |
| 申请日 | 2024/2/22 |
| 公告号 | CN117756544A |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | C04B35/80 |
| 权利人 | 山东华美新材料科技股份有限公司 |
| 发明人 | 王明峰; 王东; 石金旺; 李伟强; 王强; 石威; 尹东胜; 王克; 王进; 马立君 |
| 地址 | 山东省潍坊市坊子区北大营街3号院内 |
专利主权项内容
1.一种大尺寸碳化硅陶瓷晶舟的制备方法，其特征在于，由以下步骤组成：制备纤维气凝胶，制备包覆硅粉，等静压成型，一次烧结，浸渍，二次烧结；所述制备纤维气凝胶，取石墨粉、葡萄糖混合后进行第一次球磨，得到碳源；将二氧化硅、硅粉混合后进行第二次球磨，得到硅源；将碳源、硅源、纳米碳化硅粉混合均匀后，置于氩气气氛中，在1400-1500℃下反应4.5-5.5h，得到纤维气凝胶；所述制备包覆硅粉，将单宁酸、去离子水、硅粉混合后进行超声振荡，超声振荡结束后在75-80℃下搅拌2-2.5h，然后过滤，将滤渣进行冷冻干燥，得到初级包覆微粉；将初级包覆微粉置于氩气气氛中，在800-900℃下反应2-3h，得到包覆硅粉；所述等静压成型，将碳化硅微粉、纤维气凝胶、包覆硅粉混合均匀，得到混合粉；将混合粉灌入大尺寸晶舟模具中，进行冷等静压成型，得到素坯；所述浸渍，将一次烧结物和纳米硅水分散液置于真空容器中，控制真空容器内的真空度为300-400KPa，温度为40-50℃，浸渍5-6h后取出，得到浸渍后的坯体。。来自：马 克 团 队