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一种碳化硅功率器件的产品检测方法

申请号: CN202410078425.8
申请人: 鲁欧智造(山东)高端装备科技有限公司
申请日期: 2024/1/19

摘要文本

本发明公开了一种碳化硅功率器件的产品检测方法,涉及器件检测技术领域,该发明中,通过对碳化硅功率器件采集环境数据、外观数据和电性数据,并进行归一化处理,组成第一数据集、第二数据集和第三数据集,再进行建立超速检测模型,进行调试训练,获取:调试检测指数Jczs,通过预设的调试检测阈值Ts与调试检测指数Jczs进行匹配,获取调整检测评估方案,最后通过调整检测评估方案的内容,进行执行和通知相关人员,提高了对碳化硅功率器件的检测准确性,并且实现了动态调整检测评估方案,这使得系统能够根据实时情况或者相关人员设定进行灵活调整,适应不同生产状态,进而达到能够在不同情境下自适应,减少了手动干预的需求。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种碳化硅功率器件的产品检测方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202410078425.8
申请日 2024/1/19
公告号 CN117594473A
公开日 2024/2/23
IPC主分类号 H01L21/66
权利人 鲁欧智造(山东)高端装备科技有限公司
发明人 罗亚非
地址 山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街东首195号

专利主权项内容

1.一种碳化硅功率器件的产品检测方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤一:通过对生产线上的碳化硅功率器件设置的传感器组采集相关检测数据,包括环境数据和外观数据;步骤二:通过检测机器对碳化硅功率器件进行电性测试,并记录电性测试结果,组成电性数据;步骤三:对采集的环境数据、外观数据和电性数据进行归一化处理,使其处于同一量纲下,组成第一数据集、第二数据集和第三数据集;步骤四:对第一数据集、第二数据集和第三数据集进行建立超速检测模型,进行调试训练,获取:调试检测指数Jczs;所述调试检测指数Jczs通过以下公式获取:
;式中,Hjxs表示器件外部环境系数,Wgxs表示器件外观检测系数,Dxxs表示器件电性系数,A、B和C分别表示器件外部环境系数Hjxs、器件外观检测系数Wgxs和器件电性系数Dxxs的比例系数,D表示第一修正常数;所述器件外部环境系数Hjxs通过第一数据集计算获取,并且与预设的器件外部环境阈值Hj进行对比,获取器件外部环境评估方案;所述器件外观检测系数Wgxs通过第二数据集计算获取,并且与预设的器件外观阈值Wg进行对比,获取器件外观评估方案;所述器件电性系数Dxxs通过第三数据集计算获取,并且与预设的器件电性阈值Dx 进行对比,获取器件电性评估方案;步骤五:通过预设的调试检测阈值Ts与调试检测指数Jczs进行匹配,获取调整检测评估方案,并集成器件外部环境评估方案、器件外观评估方案和器件电性评估方案进行整合;步骤六:通过调整检测评估方案的内容,进行执行和通知相关人员。