一种氮化镓功率器电子流动性检测系统

专利主权项内容

1.一种氮化镓功率器电子流动性检测系统，其特征在于：包括光学激发测量模块、时间域测量模块、温控测量模块、噪音测量模块、建立数字模型模块和评估模块；所述光学激发测量模块用于通过透射电子显微镜、电导率测量仪、磁场中的霍尔效应测量仪和X射线荧光光谱仪对氮化镓功率器晶体管的进行测量，获取第一检测数据集；所述时间域测量模块用于通过示波器、矢量网络分析仪和功率计对氮化镓功率器晶体管的进行测量，获得第二功率数据集；所述第二功率数据集包括上升时间、下降时间/>、脉冲幅值B、截止频率/>、饱和功率值/>和功率增益值G；所述温控测量模块用于采用温控系统，调节温度，测量氮化镓功率器晶体管在不同温度下的性能数据，建立第三检测数据集；所述噪音测量模块用于采集由氮化镓功率器晶体管内部电子热运动引起的热噪音功率密度值zymd、电导率ddL、频率带宽PLdk和温度值T，建立第四检测数据集；所述建立数字模型模块用于将第一检测数据集、第二功率数据集、第三检测数据集和第四检测数据进行预处理后，整合至数据库，并建立数字模型，将数据库输入至数字模型中，分析计算获得：电子迁移系数、第一功率稳定系数Dy1、第二稳定系数Dy2和热噪音系数Rzy；并将电子迁移系数/>、第一功率稳定系数Dy1、第二稳定系数Dy2和热噪音系数Rzy进行相关联，获得综合评估系数PG；所述评估模块用于将综合评估系数PG与第一标准阈值BZ1进行对比，获得第一评估结果，当第一评估结果为不合格时，将电子迁移系数、第一功率稳定系数Dy1、第二稳定系数Dy2和热噪音系数Rzy分别与第二标准阈值BZ2、第三标准阈值BZ3、第四标准阈值BZ4和第五标准阈值BZ5进行对比，获得第二评估结果；并依据第二评估结果生成相对应的调整策略。。马-克-数据