一种微量氧传感器的敏感元件

专利主权项内容

1.一种微量氧传感器的敏感元件，其特征在于，所述敏感元件包括：第一泵氧结构层，第一泵氧结构层由第一电解质层、第一泵氧内电极、第一泵氧外电极、第一过孔电极以及第一多孔排气层组成；设置在第一泵氧结构层下方的第二泵氧结构层，第二泵氧结构层由第二电解质层、第二泵氧内电极、第二泵氧外电极、第二过孔电极以及第二多孔排气层组成；设置在第一泵氧结构层和第二泵氧结构层之间的进气限流扩散障，进气限流扩散障与第一泵氧结构层、第二泵氧结构层合围构成密闭空腔，第一泵氧内电极和第二泵氧内电极均设置在空腔内；设置在第一泵氧结构层上表面的氧化铝层，氧化铝层上设有信号引脚，信号引脚经第一过孔电极和第二过孔电极完成电气连接，使得所述的第一泵氧结构层和所述的第二泵氧结构层构成并联工作模式；设置在第二泵氧结构层下表面的加热器层，加热器层包括由上而下设置的第一绝缘层、加热器以及第二绝缘层，第二绝缘层下表面设有加热引脚，加热引脚通过第三过孔电极与加热器相连；所述第一泵氧内电极设置在第一电解质层下表面，所述第一泵氧外电极设置在第一电解质层上表面，第一泵氧外电极外覆盖第一多孔排气层；所述第二泵氧内电极设置在第二电解质层上表面，所述第二泵氧外电极设置在第二电解质层下表面，第二泵氧外电极外覆盖第二多孔排气层。