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一种微波等离子体炬系统

申请号: CN202323598027.9
申请人: 合肥博雷电气有限公司
更新日期: 2026-04-07

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种微波等离子体炬系统
专利类型 实用新型
申请号 CN202323598027.9
申请日 2023/12/28
公告号 CN222089810U
公开日 2024/11/29
IPC主分类号 H05H1/24
权利人 合肥博雷电气有限公司
发明人 刘凯; 王少波; 李雅杰
地址 安徽省合肥市高新区香樟大道168号科技实业园C-5二层

摘要文本

合肥博雷电气有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型涉及微波等离子体炬技术领域,具体是一种微波等离子体炬系统,包括同轴布置在金属外导管中且用于对气体导流的玻璃导流管,金属外导管和玻璃导流管之间形成供微波沿着玻璃导流管轴向运动的夹腔;玻璃导流管两端的外壁上同轴套设有位于夹腔内的金属内导管,两金属内导管之间通过金属连接条彼此连接。本实用新型提高电离过程中玻璃导流管中等离子体分布的均匀性。

专利主权项内容

1.一种微波等离子体炬系统,其特征在于,包括同轴布置在金属外导管(10)中且用于对气体导流的玻璃导流管(20),金属外导管(10)和玻璃导流管(20)之间形成供微波沿着玻璃导流管(20)轴向运动的夹腔;玻璃导流管(20)两端的外壁上同轴套设有位于夹腔内的金属内导管(21),两金属内导管(21)之间通过金属连接条(22)彼此连接。