环境控制柜及半导体检测设备

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上海微电子装备(集团)股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体技术领域，提供了一种环境控制柜及半导体检测设备，所述环境控制柜包括：柜体和换热器安装总成；所述换热器安装总成可抽拉的设置于所述柜体内；所述换热器安装总成包括换热器和转接件；所述转接件可拆卸的连接于所述换热器，且所述转接件可拆卸的连接于所述柜体。该环境控制柜在不拆除上部风机及电气柜等大件的情况下，可进行换热器的拆装，提高了维护的便捷性。