脉冲射频等离子体的阻抗匹配方法和装置

专利主权项内容

1.一种脉冲射频等离子体的阻抗匹配方法，其特征在于，包括：提供脉冲射频功率到等离子反应腔，所述脉冲射频功率包括n个脉冲周期，每个脉冲周期包括第一射频功率阶段；所述第一射频功率阶段为高射频功率阶段或低射频功率阶段；n为正整数；获取第i个脉冲周期的第一射频功率阶段内的第一初始频率；i<n，且i为正整数；根据所述第一初始频率连续在所述第i个脉冲周期及位于其后的多个脉冲周期的第一射频功率阶段内搜寻匹配频率，直至搜寻到的调频频率对应的阻抗参数达到极值，并在每个脉冲周期的第一射频功率阶段内搜寻匹配频率的过程中，对所述每个脉冲周期的第一射频功率阶段搜寻匹配频率过程中的频率进行多次调频和读取每个脉冲周期的第一射频功率阶段搜寻匹配频率过程中的特定调频频率；其中，在第i个脉冲周期及位于其后的多个脉冲周期中，相邻两个脉冲周期的前一脉冲周期的第一射频功率阶段的特定调频频率作为后一脉冲周期的第一射频功率阶段的初始频率；将阻抗参数达到极值时对应的射频频率确定为所述脉冲射频功率的第一射频功率阶段与等离子体阻抗相匹配的匹配频率；所述特定调频频率为其所在脉冲周期的第一射频功率阶段中搜寻到的与等离子体阻抗相匹配的匹配频率，或者，为其所在脉冲周期的第一射频功率阶段中搜寻匹配频率过程中随机读取的调频频率。