一种包含预装载腔室的蒸发真空镀膜设备的腔体

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泽鸿半导体设备科技(苏州)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种包含预装载腔室的蒸发真空镀膜设备的腔体，属于真空镀膜技术领域，包括工艺加工组件，所述工艺加工组件连接真空阀门组件，所述真空阀门组件连接有预装载组件，预装载组件连接有进样机械手；所述预装载组件包括预装腔室主体、接口组件和装载夹持组件，所述预装腔室主体上设置有接口组件，所述接口组件和进样机械手、工艺加工组件、装载夹持组件均连接。通过上述方式，本实用新型通过工艺腔室与预装载腔室结合，并利用送样机械手在腔室之间进行传递，从而提高样品镀膜的效率，并确保工艺腔体的真空度始终维持在合理的范围内，降低工艺腔体内的颗粒密度，提高了蒸发真空镀膜的重复性。