一种晶圆吹扫机构

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南京原磊纳米材料有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶圆吹扫机构，包括安装在筒体上的气体吹扫安装座以及安装在气体吹扫安装座上的进气吹扫通道座，所述气体吹扫安装座与进气吹扫通道座内部形成气体容腔，所述筒体的中部设有传输通道，所述气体吹扫安装座靠近所述传输通道一端设有斜边角，所述斜边角上开设有贯穿孔，所述气体容腔通过贯穿孔与所述传输通道连通；所述进气吹扫通道座和所述气体吹扫安装座于所述筒体的上下对称各设有一组。本实用新型结构合理，通过使对称分布的贯穿孔吹出的气体相交于一处，能够对晶圆基体持续、全面吹扫，吹扫效果好，保证晶圆基体表面无杂质颗粒。