晶体生长炉

专利主权项内容

1.一种晶体生长炉，包括：
机架；
提拉组件，至少部分设置于所述机架上；
副炉室，由所述机架支撑并至少部分位于所述提拉组件的下侧；
主炉室，由所述机架支撑并至少部分位于所述副炉室的下侧；
过滤罐，用于在长晶过程中过滤所述主炉室中的杂质；
其特征在于，
所述过滤罐包括：
罐体；
至少一个滤芯，位于所述罐体内，所述滤芯通过第一螺栓可拆卸连接至所述罐体；
所述滤芯的边缘处形成有第一抵接部，所述第一抵接部抵接至所述罐体上，所述第一抵接部上开设有贯穿所述第一抵接部的第一通孔，所述第一通孔至少部分沿所述第一通孔的径向延伸以形成有贯穿所述第一抵接部的第一槽体，所述第一螺栓的头部大于所述第一槽体的最小宽度且小于等于所述第一通孔的内径；
在所述第一螺栓连接至所述罐体的情况下，所述滤芯绕其轴线转动以形成第一预连接位置和第一固定位置，当所述滤芯处于所述第一预连接位置时，所述第一螺栓穿设于所述第一通孔，当所述滤芯处于所述第一固定位置时，所述第一螺栓穿设于所述第一槽体并将所述滤芯固定至所述罐体上。