具有图形的光罩的制造方法

专利主权项内容

1.一种具有图形的光罩的制造方法，其特征在于，包括：提供设计图形和标准测试图形；采用测试电子束光刻工艺写入所述标准测试图形，生成测试光罩，获取所述测试光罩中的测试图形与标准测试图形之间的位置偏差量；采用实际电子束光刻工艺写入所述设计图形，生成具有图形的光罩，且在所述实际电子束光刻工艺过程中，基于获取的所述位置偏差量对所述设计图形进行补偿，以抵消所述实际电子束光刻工艺中的反射电子对电子束位置造成的电子束位置偏移量；其中，基于所述位置偏差量对所述设计图形进行补偿的方法包括：基于所述位置偏差量对所述设计图形进行补偿修正，获得修正图形；采用实际电子束光刻工艺，在光罩内写入所述修正图形，生成所述具有图形的光罩；或者，基于所述位置偏差量对所述设计图形进行补偿的方法包括：所述设计图形对应具有电子束光刻工艺中的设计电子束投射位置，基于所述位置偏差量对所述设计电子束投射位置进行补偿修正，获得修正电子束投射位置；采用实际电子束光刻工艺，采用具有所述修正电子束投射位置的电子束在光罩内写入所述设计图形，生成所述具有图形的光罩。