用于半导体工艺的低温泵

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台湾积体电路制造股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本公开的实施例提供一种用于半导体工艺的低温泵。低温泵包括本体、一个或多个捕捉板模块以及冷头。本体具有凸缘以及开口，凸缘配置以耦接到工艺腔室，开口界定于本体的第一端，一个或多个捕捉板模块设置于本体中，冷头热耦合到一个或多个捕捉板模块。本体的纵向轴线从本体的第一端到本体的第二端界定。开口的第一横向尺寸小于本体的第二横向尺寸，第一横向尺寸以及第二横向尺寸被界定为垂直于纵向轴线。第二横向尺寸界定于开口与第二端之间的位置。