一种可快速更换的晶元检测头组件

专利主权项内容

1.一种可快速更换的晶元检测头组件，包括基座，其特征是，所述基座内设有若干竖直的定位通孔，每个定位通孔内均设有探针定位套，探针定位套内设有探针孔，探针孔内设有探针，所述基座的顶面一侧设有连接板，连接板的两端设有连接孔，基座的侧面设有与定位通孔垂直连通的螺纹孔，每个螺纹孔内均设有锁止螺栓；所述探针定位套的上端设有与探针连接的第一接头，第一接头上通过数据线连接有第二接头，所述连接板的侧面设有总接头座，每个第二接头均与总接头座插接，所述总接头座的侧面设有排线，排线的外端连接有排线接头；所述定位通孔的内壁设有锥形下阶梯面，所述探针定位套侧面设有与锥形下阶梯面配合的锥形上阶梯面；所述探针定位套的侧面位于锥形上阶梯面的上侧设有楔形环状定位槽，所述锁止螺栓的端部与楔形环状定位槽的底面抵接；所述探针孔的上端设有上定位孔，所述探针孔的下端设有下定位孔，所述的探针与探针孔之间形成环形间隙，上定位孔、下定位孔的底部均设有支撑环，上定位孔内设有上定位套，下定位孔内设有下定位套，所述上定位套与支撑环之间、下定位套与支撑环之间均设有柔性密封圈；上定位套与上定位孔之间螺纹连接，下定位套与下定位孔之间螺纹连接，所述上定位套、下定位套的内壁均设有绝缘套。