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门阀装置及外延反应设备
申请人信息
- 申请人:浙江求是半导体设备有限公司
- 申请人地址:311100 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室
- 发明人: 浙江求是半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 门阀装置及外延反应设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420587524.4 |
| 申请日 | 2024/3/25 |
| 公告号 | CN222085280U |
| 公开日 | 2024/11/29 |
| IPC主分类号 | F16K31/00 |
| 权利人 | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 傅林坚; 刘毅; 曹建伟; 朱亮; 梁旭; 冯欣凯 |
| 地址 | 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室 |
摘要文本
浙江求是半导体设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种门阀装置及外延反应设备，所述门阀装置包括机架、驱动组件、柔性管组件、连接组件和阀本体，驱动组件设于机架，柔性管组件的一端与驱动组件密封连接，连接组件的一部分穿设在柔性管组件内，并连接驱动组件，以在驱动组件的驱动下相对于机架沿水平方向和竖直方向移动，阀本体设于连接组件位于柔性管组件外的另一部分。本实用新型的门阀装置通过驱动组件驱动阀本体沿水平方向和竖直方向移动，当门阀装置设在对应的腔室时，阀本体能够完全封闭腔室的开口或通道，以确保开口或通道封闭时的密封性，同时通过柔性管组件确保腔室在开口或通道封闭时的密封性，避免门阀装置的设置影响腔室的密封性。
专利主权项内容
1.一种门阀装置，其特征在于，包括：
机架(1)；
驱动组件(2)，所述驱动组件(2)设于所述机架(1)；
柔性管组件(3)，所述柔性管组件(3)的一端与所述驱动组件(2)密封连接；
连接组件(4)，所述连接组件(4)的一部分穿设在所述柔性管组件(3)内，并连接所述驱动组件(2)，以在所述驱动组件(2)的驱动下相对于所述机架(1)沿水平方向和竖直方向移动；
阀本体(5)，所述阀本体(5)设于所述连接组件(4)位于所述柔性管组件(3)外的另一部分。