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一种有源区等电位的碲镉汞红外焦平面探测器
摘要文本
中国科学院上海技术物理研究所取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种有源区等电位的碲镉汞红外焦平面探测器，通过在碲镉汞红外焦平面阵列区腐蚀出有源区电极孔，并在制备金属公共电极时将此电极孔相连，使得碲镉汞红外焦平面阵列边缘区域有源区和阵列中央有源区等电位。该芯片结构具有碲镉汞红外焦平面阵列有源区像元工作电位一致的优点，有利于解决只在碲镉汞红外焦平面阵列边缘制备公共电极而导致阵列像元工作电压不一、输出信号差异大的问题。 （来 自 专利查询网）
专利主权项内容
1.一种有源区等电位的碲镉汞红外焦平面探测器，包括碲镉汞有源区(1)，钝化层(2)，pn结光敏元区电极层(3)，有源区公共电极层(4)和pn结区(5)，其特征在于：在p型的碲镉汞有源区(1)上通过B离子注入形成pn结区(5), 得到pn结光敏元列阵；在碲镉汞上覆盖钝化层(2)，在pn结区(5)和碲镉汞有源区(1)上方的钝化层(2)上分别开孔使pn结区(5)与pn结光敏元区电极层(3)相连，碲镉汞有源区(1)与有源区公共电极层(4)相连，有源区公共电极层(4)环绕阵列四周并延伸进阵列区域内有源区；+所述的碲镉汞红外焦平面探测器阵列在工作时需对像元加偏置电压，有源区公共电极层(4)将碲镉汞焦平面阵列区周围有源区与阵列内有源区相连，使得有源区各处电位一致，使得像元工作偏置电压一致。。马 克 数 据 网
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种有源区等电位的碲镉汞红外焦平面探测器 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810945391.2 |
| 申请日 | 2018年8月20日 |
| 公告号 | CN108922898B |
| 公开日 | 2024年3月26日 |
| IPC主分类号 | H01L27/146 |
| 权利人 | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 发明人 | 叶振华; 刘棱枫; 崔爱梁; 张伟婷; 丁瑞军; 何力 |
| 地址 | 上海市虹口区玉田路500号 |